【発表】2025年電気学会電子・情報・システム部門大会 OS「1DCAE・MBD に基づく分野横断型高度専門人材育成～半導体製造装置の制御システム設計を題材として～」

8月27日から4日間の予定で，2025年電気学会電子・情報・システム部門大会が本学の扇が丘キャンパスで開催されております．

本日 8/29 午前に，広島大学・脇谷伸先生のオーガナイズで，OS「1DCAE・MBD に基づく分野横断型高度専門人材育成～半導体製造装置の制御システム設計を題材として～」が開催されました．福江が「伝熱現象からのボトムアップによるプラントモデル構築とモデルベース開発の学び方の検討」と題して話題提供させて頂きました．

セッションでは，半導体製造装置にされる分野横断型の製品の将来設計に向けて，システム設計者，プラント設計者，企業様目線，大学目線，それぞれでの強みと弱み，それを補完して持続可能なものづくりの設計プラットフォームを構築するために必要な考え方について活発な議論が成されました．今後，モデルベース開発や1DCAE的な考え方に，大学の１研究室としてどのように向かっていくべきか，大事な視点をご教授いただく大変貴重な機会を頂戴いたしました．

脇谷先生，田中様，瀧尻様には，大変貴重な機会をご一緒させて頂き，篤く御礼申し上げます．今後ともご指導のほど，何卒よろしくお願い申し上げます．

TC10 1DCAE・MBD に基づく分野横断型高度専門人材育成
～半導体製造装置の制御システム設計を題材として～

1DCAE・MBD に基づく学 – 産 – 学連携による専門人材育成ー制御システム開発を題材としてー
脇谷伸（広島大学）
伝熱現象からのボトムアップによるプラントモデル構築とモデルベース開発の学び方の検討
福江高志（金沢工業大学）
半導体製造装置の業界構造に伴う温度制御技術
田中雅人（アズビル）
半導体製造プロセスの圧力制御における 1DCAE に基づく開発
瀧尻興太郎，中川篤志，吉元洸人（堀場エステック）